『シリコンの物性と評価法』小間篤ほか

・ミラー指数
結晶面を表す。

・ブラべ格子
三次元の空間格子における単位格子。
三つの独立なベクトルから決まる平行六面体であり、その種類は14種類。

格子欠陥
１．点欠陥
２．線欠陥
３．面欠陥
４．体積欠陥

・クローニヒ・ペニーの問題
結晶内での電子の挙動を記述する量子力学的モデルの一つ。周期的なデルタ関数の井戸型ポテンシャルを持つモデル。

・クローニヒ・ペニーの問題の解より、エネルギーバンドの概念（エネルギーの不連続）が出る。

・ブリルアンゾーン
クローニヒ・ペニーの問題の解において、エネルギーが連続する領域。

・電子の運動は第一ブリルアンゾーンに限って考えれば十分。

・フォノン
格子振動を量子とみなしたもの。

・ショットキー接合
金属と半導体の接合。

・表面準位
ダングリングボンド（切れた接合手）は極めて活性で、浄化しない限り不純物原子が付着している。

＜表面準位の清浄化方法＞
１．シリコンの（１１０）面にそってへきかいする。
２．加熱（1200℃ぐらい）
３．ArやXe等の希ガスイオン照射

・SEM
空間分解能100Å程度。焦点深度um程度。

・X線回折法
結晶の格子欠陥や微小格子歪を検出する方法が中心となる。
ブラッグの法則2d*sinθ=λに従う。
　d：格子間隔
　θ：ブラッグ角
　λ：X線の波長

・ラウエ法
単結晶の構造決定、格子定数測定、欠陥の観察に最も適している。

・ボンド法、二次回折法
格子定数の測定に用いられる。

＜電子回折法の特徴（X線回折に比べて）＞
１．高分解能（電磁レンズが使用可）
２．数万倍の倍率像の適当な微小領域の回折パターンを得ることができる。
３．物質との相互作用がX線に比べて大きい。

・菊池パターン
試料の完全性が高く、試料が比較的に厚い場合に現れる透過回折パターン。

＜四探針法（抵抗測定）の注意点＞
１．針を立てる領域が十分均一で、かつ広いこと。
２．電流を流し過ぎて温度上昇を生じないようにすること。
３．抵抗率の小さなものでは、張り先の接触抵抗が大きくて測定に支障をきたすことがあるので、針は十分押しつけること。

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